產(chǎn)品型號：
更新時(shí)間：2025-07-17
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
訪 問 量 ：1645
15214375780
產(chǎn)品分類
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瑞士VAT高真空蝶形控制閥61332-KEAF-0001
| 參數(shù)類別 | 詳細(xì)規(guī)格 |
|---|---|
| 型號 | 61332-KEAF-0001 |
| 類型 | 氣動驅(qū)動高真空蝶形控制閥（金屬密封） |
| 真空范圍 | 工作壓力：10?? mbar 至 大氣壓（兼容超高真空/XHV） |
| 漏率 | <1×10?? mbar·l/s（金屬密封版） |
| 溫度范圍 | -20°C 至 +150°C（標(biāo)準(zhǔn)）/ 可選高溫版至 +250°C（金屬密封） |
| 閥體材質(zhì) | 316L不銹鋼（電解拋光，表面粗糙度 Ra ≤ 0.8 μm） |
| 密封材質(zhì) | 標(biāo)準(zhǔn)：全金屬密封（無彈性體） 可選：氟橡膠（FKM，適用于非等離子體環(huán)境） |
| 驅(qū)動方式 | 氣動執(zhí)行（單作用彈簧復(fù)位/雙作用） 響應(yīng)時(shí)間：<100 ms（全開至全關(guān)） |
| 法蘭標(biāo)準(zhǔn) | ISO-KF、CF 或定制法蘭（SEMI標(biāo)準(zhǔn)兼容） |
| 控制信號 | 可選：4-20mA模擬量反饋、數(shù)字信號（RS485） |
蝶板設(shè)計(jì)：
采用低慣量鈦合金蝶板，減少顆粒生成，適合潔凈環(huán)境（符合SEMI F47標(biāo)準(zhǔn)）。
動態(tài)平衡結(jié)構(gòu)，降低氣流擾動對晶圓工藝的影響。
密封技術(shù)：
金屬密封：金包覆不銹鋼密封圈，耐高溫烘烤（≤150°C持續(xù)），抗等離子體腐蝕。
彈性體密封（可選）：FKM材質(zhì)，適用于非腐蝕性氣體環(huán)境（漏率略高，約10?? mbar·l/s）。
氣動模塊：
標(biāo)配氣壓范圍：4-6 bar（干燥空氣或氮?dú)怛?qū)動）。
可選防爆設(shè)計(jì)（ATEX認(rèn)證）。
位置反饋：
高精度電位器或霍爾傳感器，實(shí)時(shí)監(jiān)控閥門開度（精度±0.5%）。
Cv值：0.8（全開時(shí)，介質(zhì)為空氣）。
流量調(diào)節(jié)比：100:1（線性控制區(qū)間）。
| 真空級別 | 漏率要求 | 61332-KEAF-0001實(shí)測數(shù)據(jù) |
|---|---|---|
| 高真空（HV） | <10?? mbar·l/s | <5×10?? mbar·l/s |
| 超高真空（XHV） | <10?? mbar·l/s | <1×10?? mbar·l/s（金屬密封） |
| 工藝設(shè)備 | 功能角色 | 配套型號要求 |
|---|---|---|
| 刻蝕機(jī)（Etch） | 腐蝕性氣體隔離（Cl?/HBr） | 金屬密封+等離子體防護(hù)涂層 |
| ALD/CVD | 前驅(qū)體氣體精準(zhǔn)控制 | 快速響應(yīng)（<50 ms）+高線性度 |
| 離子注入機(jī) | 束線真空隔離 | 超高真空密封（XHV級） |
| 晶圓傳輸模塊 | Loadlock快速抽真空 | 大口徑（可選VAT 48系列配合） |
氣體介質(zhì)：
兼容腐蝕性氣體（WF?、NH?、SiH?等），需指定鍍層（如PTFE或Al?O?）。
顆粒控制：
符合ISO 14644-1 Class 4潔凈度要求（每立方米≤3520顆粒，粒徑≥0.5 μm）。
法蘭對接：
使用無應(yīng)力安裝工具，避免閥體變形（扭矩限制：≤10 Nm）。
氣路連接：
氣源需配備0.1 μm過濾器，防止顆粒污染。
常規(guī)檢查：
每3個(gè)月檢查密封面磨損（金屬密封壽命約10?次循環(huán)）。
深度維護(hù)：
每2年或50萬次循環(huán)后更換密封圈（原廠維修包編號：VAT-MK-61332）。
優(yōu)勢供應(yīng)：
商品編號61338-PEAE-0001
商品編號61348-PECN-0001
商品編號61340-PECE-0001
商品編號61344-PAAX-0001
商品編號61344-PEAX-0001
商品編號 61350-PAAK-0001
商品編號61338-PAAN-0001
商品編號61348-PAAQ-0001
61336-PACX-0001
61336-PACE-0001
61348-PEAQ-0001
61340-PECX-0001
61340-PACF-0001
61350-PAGQ-0001
61344-PACQ-0001
瑞士VAT高真空蝶形控制閥61332-KEAF-0001
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